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防腐蚀防爆烘箱
州某上市医疗企业订购我司一台防腐蚀防爆烘箱,该公司从事医学研究和试验发展;第一类医疗器械生产:医疗器械产品、生物3D打印设备、医用软管等研发制作与生产的行业。
该烘箱用于软管烘烤,由于软管在加热烘烤过程中会产生有毒气体,所以烘箱内布有气体浓度检测点及气体检测仪与箱体背部泄爆门联动控制,确保工作人员安全,减少或避免爆炸破坏。
此款烘箱具有防爆防腐蚀特性,为节约空间需求,我司特别设计子母车款式,母车可折叠于烘箱底部,节约空间。母车与烘箱内胆可无缝对接,快速将子车推入烘箱内。
如何选择合适的氮气柜
在电子行业中,静电会对电子元器件产生损害,因此会根据不同的电子元器件的要求对于储存氮气柜的材质也是不同的。在光学领域,静电会对光学元件产生影响,因此亚克力氮气柜也被用于存放制造光学仪器、显微镜、激光设备等。此外,它还在半导体工业、LCD工业、医疗器械、化工等领域发挥着重要作用。
HMDS(六甲基二硅氮烷)烘箱使用
HMDS(六甲基二硅氮烷)烘箱使用HMDS(六甲基二硅氮烷)烘箱在半导体光刻工艺中用于增强光刻胶与基片(如硅片)的粘附性。以下是其典型使用工艺及注意事项:一、HMDS烘箱使用工艺流程1. 设备准备 确保烘箱清洁无尘,通风系统正常(HMDS蒸气有毒,需有效排放)。 预热烘箱至设定温度(通常为150-200℃,具体根据工艺要求调整)。 2. 基片预处理 清洗基片:去除表面有机物和颗粒(常用丙酮、异丙醇、去离子水清洗,氮气吹干)。 脱水烘烤:将基片在100-120℃下烘烤5-10分钟,去除残留水分。 3. HMDS涂覆 气相法(常用): 1. 将基片放入HMDS烘箱,注入液态HMDS(剂量约1-2ml/片)。 2. 在真空或惰性气体(如氮气)环境下,HMDS蒸发并吸附在基片表面。 3. 涂覆时间通常为5-10分钟。 旋涂法:将液态HMDS滴在基片表面,高速旋转甩匀,再转入烘箱。 4. 烘烤固化 温度:180-200℃(典型值)。 时间:1-5分钟,形成致密的疏水层。 注意:避免温度过高或时间过长,否则可能导致HMDS分解失效。 5. 冷却与转移 烘烤结束后,关闭加热,通氮气冷却至室温(避免骤冷导致基片应力)。 快速转移至光刻机进行涂胶,防止表面重新吸附水汽。 二、适用场景基片类型:硅片、玻璃、金属(如铝、铜)等。 工艺节点:适用于高分辨率光刻(如IC制造、MEMS、封装等)。 通过合理控制HMDS涂覆和烘烤参数,可显著提升光刻胶的粘附性,减少显影或刻蚀过程中的剥离缺陷。建议根据具体设备手册和工艺验证结果微调参数。
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